依照全球最先进的三大晶圆厂台积电、三星、英特尔的方案,在2025年,我们的芯片技能要完成2纳米的水平,而到2027年时,可能会完成1.4nm。
而依照ASML的估测,未来,芯片技能还会继续行进,到2029年时是1nm,到2039年时会到达0.2nm。
而跟着芯片技能的推动,各种相关设备的精度也会渐渐的高,由于2nm的芯片,要求一些制作设备的精度,也会到达2nm这个等级。
可是,夸大的来了,近来,在上海举行的Semicon大会上,我国芯片设备企业,完成了严重打破,其反响台之间的刻蚀精度已到达0.2A(亚埃级)。
这次他们经过不断的前进反响台之间气体操控的精度,所以完成了ICP双反响台刻蚀机Primo Twin-Star®的0.2A精度。
而且这一刻蚀精度在氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的刻蚀工艺上,均得到了验证,并不是PPT,或是说理论,而是有了实测的。
但由于尹志尧博士,在兴办中微之前,一直在美国半导体企业作业,比方英特尔、泛林、使用资料等,有着丰厚的经历堆集,而且具有很多的个人专利。
再加上他回归时,带了一大批在美国作业的华人半导体工程师回国,所以前进神速。
所以中微敏捷的推出了刻蚀机,打破了美国在这一块的独占,本来美国对刻蚀机是禁运的,后来中微研制出了先进的刻蚀机,美国就解除了禁令。
后来美国的使用资料发现中微这么凶猛,还诬告中微侵犯了它们的专利,但后来使用资料输了官司,不得不供认中微的技能凶猛。
现在中微现已给台积电、中芯等公司可以供给先进的刻蚀机,从这个0.2A就可以精确的看出技能有多先进了。
不只精度高,且依照尹志尧博士的说法,现在中微的刻蚀机现已完成100%的元件国产代替,不再需求进口,不需求过多的忧虑被谁卡脖子了,彻底是自主可控的。
真希望其它国产半导体设备,都多向中微学习,假如都到达中微的精度和水平,那就彻底不需求过多的忧虑所谓的禁令了,那真的便是废纸了。